ITRI与OIPT达成合作，共同研发MicroLED项目
更新：2019-2-13 18:01:06 稿件：LEDinside 调整大小:【
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据报道，日前，牛津仪器（Oxford Instruments Plasma Technology ，简称 “OIPT”）宣布与台湾工业技术研究院（Taiwan’s Industrial Technology Research Institute，简称 “ITRI”）达成合作。牛津仪器将提供包含刻蚀与沉积的PlasmaPro100多种等离子体刻蚀系统，助力台工研院的Micro LED研发项目。
据悉，PlasmaPro100工艺解决方案是专为支持激光、射频、功率以及先进发光二极管等尖端器件应用设计的。
台工研院自2009年起开始开发Micro LED技术，于2018年和聚积、欣兴电子
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